纯净水是指不含杂质的水。从学术角度讲，又称高纯水，是指化学纯度高的水。它主要应用于生物、化工、冶金、航天、电力等领域，但对水的纯度要求很高，所以电子工业应用很普遍。
例如，用于电力系统的纯净水需要低水平的杂质才能达到“微克/升”的水平。在纯水生产中，水质标准中规定的指标应以电子(微电子)元件(或材料)的生产工艺为依据(如一般认为对其线宽1/5-1/10造成电路性能损害的颗粒物的大小)。
然而，由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的诸多因素，目前还没有完全的水质标准，适用于某些电路的生产工艺试验。
但近年来，电子级水标准也不断修订，在高纯水分析领域取得了许多突破和发展。新仪器、新分析方法的不断应用，为水生产工艺的发展创造了条件。
高纯水国家标准为：GB1146.1-89～GB1146.11-89[168]。目前，我国高纯水标准规定电子级水分为五级：Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ。本标准参照ASTM电子级标准制定。
高纯水水质标准规定的各项指标的主要依据是：水质微电子工艺要求、水生产技术水平、检测技术的现状。
在这样的纯净水生产过程中，可采用电渗析、反渗透、离子交换树脂等技术去除水中的阴阳离子;一般采用超滤、膜过滤等技术去除水中的颗粒;目前国内对水中细菌的去除大多采用加药或紫外线灯照射或臭氧消毒。